Физические основы микроэлектроники

продать эту книгу
оставить заявку
ошибка в описании

автор: ;
;

isbn:978-5-7695-4227-5

серия: Высшее профессиональное образование

издательство: Академия

город, год: Москва,

страниц: 400 стр.

тираж: 2 500 экз.

тип обложки: Переплет (твердый)

формат: 60x90/16 (145x215)

язык: русский

В продаже

искандер

Тольятти on
1 000Р
новая
купить

Аннотация

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики.Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро-и наноэлектроники:получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.

Для студентов высших учебных заведений.