регистрация восстановление активация |
Физические основы микроэлектроники
продать эту книгу
оставить заявку ошибка в описании автор: Марголин, В.И.; isbn:978-5-7695-4227-5 серия: Высшее профессиональное образование издательство: Академия город, год: Москва, 2008 страниц: 400 стр. тираж: 2 500 экз. тип обложки: Переплет (твердый) формат: 60x90/16 (145x215) язык: русский В продажеАннотацияИзложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики.Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро-и наноэлектроники:получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений. РубрикаторКаталог / Учебная литература / Учебники, учебные пособия / Студентам |