Физические основы микроэлектроники

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики.Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро-и наноэлектроники:получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.

Для студентов высших учебных заведений.